Azot Trifluorid (NF3) Pokary arassa gaz
Esasy maglumatlar
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
Bu material näme?
Azot triflorid (NF3), otag temperaturasynda we atmosfera basyşynda reňksiz we yssyz gazdyr. Orta basyşda suwuklandyrylyp bilner. NF3 adaty şertlerde durnukly we aňsat çüýremez. Şeýle-de bolsa, ýokary temperatura sezewar bolanda ýa-da käbir katalizatorlaryň barlygynda dargap biler. NF3 atmosfera goýberilende ýokary global ýylylyk potensialyna (GWP) eýe.
Bu materialy nireden ulanmaly?
Elektronika pudagynda arassalaýjy serişde: NF3 ýarymgeçirijileriň, plazma displeý panelleriniň (PDP) we beýleki elektron bölekleriniň üstünden oksidler ýaly galyndylary ýok etmek üçin arassalaýjy serişde hökmünde giňden ulanylýar. Bu ýüzleri zaýalamazdan netijeli arassalap biler.
Ondarymgeçiriji önümçiliginde gaz çykarmak: NF3 ýarymgeçirijileriň önümçilik prosesinde gazyjy gaz hökmünde ulanylýar. Integrirlenen zynjyrlary ýasamakda ulanylýan umumy materiallar bolan kremniniň dioksidini (SiO2) we kremniy nitridi (Si3N4) çykarmakda has täsirli.
Highokary arassa ftor birleşmelerini öndürmek: NF3 dürli ftorly birleşmeleri öndürmek üçin ftor gymmatly çeşmesidir. Ftoropolimerleri, florokarbonlary we ýörite himiki serişdeleri öndürmekde deslapky hökmünde ulanylýar.
Tekiz panelli displeý önümçiliginde plazma öndürmek: NF3 beýleki gazlar bilen bilelikde suwuk kristal displeýler (LCD) we PDP ýaly tekiz panelli displeýleriň önümçiliginde plazma döretmek üçin ulanylýar. Panel ýasalýan mahaly, çökdürmekde we çişmekde plazma möhümdir.
Bu materialy / önümi ulanmak üçin ýörite programmalaryň we düzgünleriň ýurt, senagat we maksat boýunça üýtgäp biljekdigine üns beriň. Elmydama howpsuzlyk görkezmelerine eýeriň we bu materialy / önümi haýsydyr bir programmada ulanmazdan ozal hünärmen bilen maslahatlaşyň.
